| 品牌 | 矽翔 | 型号 | fs4003、fs4008 |
| 种类 | 气体 | 材料 | 混合物 |
| 材料物理性质 | 导体 | 材料晶体结构 | 多晶 |
| 工艺 | 集成 | 输出信号 | 模拟型 |
| 防护等级 | 1 | 线性度 | 1（%f.s.） |
| 迟滞 | 1（%f.s.） | 重复性 | 0.75 %（%f.s.） |
| 灵敏度 | 1 | 漂移 | 0.12 %/oc |
| 分辨率 | 1 |
fs4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统（mems）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
fs4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5slpm；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
fs4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50slpm；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高 - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 - 低功耗、低压损 - 响应速度快
fs4003
通 径 3 mm
最大流量 2, 3, 4, 5slpm
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2fs) %
重复性 0.75 %
零点输出飘移 ±30 mv
输出飘移 0.12 %/oc
响应时间 100 ms
工作电源 8~18vdc,100ma
输出方式 线性，rs232/模拟电压0.5~4.5vdc
最大流量压损 100 pa
最大工作压力 0.5 mpa
工作温度 -10 ~ +55 oc
存储温度 -20 ~ +65 oc
工作湿度 <95%rh（无结冰、无凝露）
机械接口 bspt1/4(r1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式 空气（或其他气体），20oc，101.325kpa
重量 57（带r1/4,bspt1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)
fs4008
通 径8 mm
最大流量10, 20, 30, 40, 50 slpm
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2fs) %
重复性 0.75 %
零点输出飘移 ±30 mv
输出飘移 0.12 %/oc
响应时间 100 ms
工作电源 8~18vdc,100ma
输出方式 线性，rs232/模拟电压0.5~4.5vdc
最大流量压损600 pa
最大工作压力 0.5 mpa
工作温度 -10 ~ +55 oc
存储温度 -20 ~ +65 oc
工作湿度 <95%rh（无结冰、无凝露）
机械接口 bspt1/4(r1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式 空气（或其他气体），20oc，101.325kpa
重量 57（带r1/4,bspt1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)